每日經(jīng)濟新聞 2023-08-02 21:54:20
每經(jīng)訊,據(jù)啟信寶,新三板創(chuàng)新層公司中科儀(830852)新增專利信息,專利權(quán)人為中科儀,發(fā)明人是張穎志、王啟佳、袁方、趙崇凌。專利授權(quán)日為2023年8月1日,專利名稱為“一種鈦升華泵用的常溫冷阱結(jié)構(gòu)”,專利類型為中國實用新型專利,專利申請?zhí)枮镃N202320281647.0。
該專利摘要顯示:本實用新型屬于鈦升華泵領(lǐng)域,具體地說是一種鈦升華泵用的常溫冷阱結(jié)構(gòu),包括大法蘭焊件、小法蘭焊件、冷阱筒焊件、擋板焊件及波浪板焊件,冷阱筒焊件的一端與大法蘭焊件的一端相連,大法蘭焊件的另一端連接真空腔室,冷阱筒焊件的另一端與小法蘭焊件的一端相連,小法蘭焊件的另一端連接鈦升華器;大法蘭焊件與冷阱筒焊件的連接處設有擋板焊件,擋板焊件可拆卸地安裝于冷阱筒焊件內(nèi)部,擋板焊件阻擋鈦升華器升華的鈦溢出到真空腔室內(nèi);波浪板焊件容置于冷阱筒焊件內(nèi),波浪板焊件具有增加吸附鈦蒸汽表面積的多個波浪。本實用新型的波浪圓板使鈦升華器的吸附表面積增加了4~6倍,提高了鈦升華器的升華速率;擋板焊件避免污染真空腔室,且易于拆卸清洗。
(記者 曾健輝)
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