每日經(jīng)濟(jì)新聞 2020-05-15 16:08:24
5月14日,無錫高新區(qū)與阿斯麥(ASML)簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議,擴(kuò)建升級(jí)光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)(無錫)基地。ASML在最近十幾年來異軍突起,超越尼康、佳能,成為光刻機(jī)領(lǐng)域執(zhí)牛耳者。目前,最為先進(jìn)的EUV(極紫外光源)光刻機(jī),全世界僅有ASML一家能夠提供。
每經(jīng)記者 朱成祥 每經(jīng)編輯 張海妮
5月14日,無錫高新區(qū)與阿斯麥(ASML)簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議,擴(kuò)建升級(jí)光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)(無錫)基地。
據(jù)了解,阿斯麥(ASML)光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)(無錫)基地涵蓋兩大業(yè)務(wù)板塊——技術(shù)中心和供應(yīng)鏈服務(wù)中心。其中,技術(shù)中心擁有近200人規(guī)模專業(yè)團(tuán)隊(duì),從事光刻設(shè)備的維護(hù)、升級(jí)等技術(shù)服務(wù),面積約2000余平方米;供應(yīng)鏈服務(wù)中心則為客戶提供高效的供應(yīng)鏈服務(wù),為設(shè)備安裝、升級(jí)及生產(chǎn)運(yùn)營等所需的物料提供更高水準(zhǔn)的物流支持,面積約2000余平方米。
眾所周知,光刻機(jī)為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備,也被譽(yù)為“工業(yè)皇冠上的寶石”。而ASML在最近十幾年來異軍突起,超越尼康、佳能,成為光刻機(jī)領(lǐng)域執(zhí)牛耳者。目前,最為先進(jìn)的EUV(極紫外光源)光刻機(jī),全世界僅有ASML一家能夠提供。
對(duì)于ASML在無錫擴(kuò)建光刻設(shè)備服務(wù)基地,一位半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)人士對(duì)《每日經(jīng)濟(jì)新聞》記者表示:“因?yàn)楣饪虣C(jī)比較‘精密’,所以設(shè)備運(yùn)過來之后,裝調(diào)也是相當(dāng)重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。一般大件、精密、高價(jià)值(的設(shè)備)都得有專人維護(hù)著,比如飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)等,需要有定期的檢修之類。(光刻機(jī))出廠,先船運(yùn)、空運(yùn)到安裝地,然后放著等待技術(shù)人員裝調(diào)。以前尼康、佳能的光刻機(jī),光是裝調(diào)就需要幾個(gè)月,至少不低于1個(gè)月。”
對(duì)于裝調(diào)的重要性,其表示:“光學(xué)設(shè)備和其他裝備不大一樣,光學(xué)設(shè)備一般都有人數(shù)較多的裝調(diào)團(tuán)隊(duì),并且裝調(diào)也是光學(xué)設(shè)備里面一項(xiàng)重要工作,ASML在193nm就是靠裝調(diào)PK掉了日本的尼康和佳能。”
該業(yè)內(nèi)人士進(jìn)一步認(rèn)為,無錫基地200人的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)也不一定夠,“(光刻機(jī))這種嬌貴的東西,一般維護(hù)都很費(fèi)勁”。另外,據(jù)其估計(jì),ASML無錫技術(shù)服務(wù)基地將不僅僅服務(wù)無錫,而是整個(gè)長三角地區(qū)。
據(jù)記者不完全統(tǒng)計(jì),目前長三角先進(jìn)制程(28nm及以下)半導(dǎo)體工廠有中芯國際上?;兀òㄖ行灸戏?4nm)、南京臺(tái)積電工廠、無錫SK海力士DRAM工廠、合肥長鑫DRAM工廠等。另外,近期華虹半導(dǎo)體無錫基地12英寸生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)了高性能90nm FSI工藝平臺(tái)產(chǎn)品投片。
封面圖片來源:攝圖網(wǎng)
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