每經(jīng)記者 朱成祥    每經(jīng)編輯 陳俊杰    

“攀登勇者，志在巔峰”，中微公司（688012，SH）董事長尹志堯在公司2021年年報董事長致辭中寫道。

尹志堯“志在巔峰”的底氣，是中微公司在刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備兩大領(lǐng)域齊發(fā)力的成果。

“今年（2021年）到目前為止，用于3D NAND應(yīng)用的Primo HD-RIE和用于7納米及以下節(jié)點邏輯應(yīng)用的Primo AD-RIE-e占設(shè)備總出貨量的50%。”中微公司官網(wǎng)介紹。

3D NAND是閃存領(lǐng)域最先進的產(chǎn)品，而7納米及以下節(jié)點芯片，世界范圍內(nèi)也只有臺積電、三星等極少數(shù)晶圓廠具備制造能力。

但要注意的是，半導(dǎo)體行業(yè)具有一定的周期性特征。中微公司也表示，在行業(yè)景氣度提升過程中，產(chǎn)業(yè)往往加大資本性支出，快速提升對相關(guān)設(shè)備的需求；在行業(yè)景氣度下降過程中，產(chǎn)業(yè)則可能削減資本支出，進而對設(shè)備的需求產(chǎn)生不利影響。

國內(nèi)刻蝕設(shè)備龍頭

尹志堯是刻蝕設(shè)備專家，其于1986年加入Lam Research（泛林半導(dǎo)體）并引領(lǐng)了刻蝕技術(shù)的發(fā)展，同時為一些關(guān)鍵產(chǎn)品帶來了解決方案。在成立中微之前，尹志堯在應(yīng)用材料公司任職13年，曾擔(dān)任公司副總裁、等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理、亞洲區(qū)采購副總裁、應(yīng)用材料亞洲首席技術(shù)官等。

他的職業(yè)生涯，與刻蝕設(shè)備分不開。曾任職的兩家公司也是全球前三的刻蝕設(shè)備廠商。根據(jù)Gartner 2019年統(tǒng)計數(shù)據(jù)，泛林半導(dǎo)體、東京電子和應(yīng)用材料分別占據(jù)了全球44.7%、28.0%、18.1%的市場份額。

在尹志堯的帶領(lǐng)下，中微公司逐漸成長為國內(nèi)刻蝕設(shè)備龍頭。在Gartner 2019年統(tǒng)計中，中微公司刻蝕設(shè)備全球排名第六，市占率為1.1%。

2021年，中微公司營業(yè)收入31.08億元，同比增長36.72%。其中，刻蝕設(shè)備收入20.04億元，同比增長約55.44%，毛利率為44.32%。

中微公司主要產(chǎn)品可分為CCP刻蝕設(shè)備、ICP刻蝕設(shè)備以及MOCVD設(shè)備。

刻蝕設(shè)備技術(shù)方面，中微公司相關(guān)設(shè)備可用于邏輯芯片先進制程、3D NAND芯片的生產(chǎn)。公司開發(fā)的12英寸高端刻蝕設(shè)備已運用在國際知名客戶65納米到5納米等先進的芯片生產(chǎn)線。同時，公司根據(jù)先進集成電路廠商的需求，已開發(fā)出5納米及更先進刻蝕設(shè)備用于若干關(guān)鍵步驟的加工，并已獲得行業(yè)領(lǐng)先客戶的批量訂單。公司目前正在配合客戶需求，開發(fā)新一代刻蝕設(shè)備和包括更先進大馬士革在內(nèi)的刻蝕工藝，能夠涵蓋5納米以下更多刻蝕需求和更多不同關(guān)鍵應(yīng)用的設(shè)備。

事實上，目前全球能生產(chǎn)5納米及以下先進制程芯片的晶圓廠，唯有臺積電、三星。

在3D NAND領(lǐng)域，中微公司電容性等離子體刻蝕設(shè)備可應(yīng)用于64層和128層的量產(chǎn)，同時公司根據(jù)存儲器廠商的需求正在開發(fā)新一代能夠涵蓋128層及以上關(guān)鍵刻蝕應(yīng)用以及相對應(yīng)的極高深寬比的刻蝕設(shè)備和工藝。

此外，中微公司正在進行下一代產(chǎn)品的技術(shù)研發(fā)，以滿足5納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3D NAND芯片等產(chǎn)品的ICP刻蝕需求，并進行高產(chǎn)出的ICP刻蝕設(shè)備的研發(fā)。

對于刻蝕設(shè)備業(yè)務(wù)的發(fā)展，尹志堯在董事長致辭中表示：“公司CCP等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品持續(xù)保持競爭優(yōu)勢，在國內(nèi)外一線客戶的邏輯和存儲芯片制造生產(chǎn)線上，包括先進的5納米芯片生產(chǎn)線和下一代的試生產(chǎn)線上，持續(xù)提升市場占有率，在部分關(guān)鍵客戶市場占有率已進入前三位甚至前二位。”

趕上Mini LED風(fēng)口

在很多投資者的印象里，中微公司是刻蝕設(shè)備龍頭。其實，中微公司的MOCVD產(chǎn)品在LED設(shè)備市場也有較大影響力，特別是Mini LED風(fēng)潮漸起之時。

根據(jù)TrendForce集邦咨詢報道，隨著Mini LED背光顯示滲透率的提升，以及Mini LED直接顯示逐漸進入商顯等市場，Mini/Micro LED新型顯示帶來的LED外延片需求量將快速增長。

平安證券研報顯示，MOCVD設(shè)備是LED制造的關(guān)鍵設(shè)備，采購金額占產(chǎn)線投入的50%以上。2021年被稱為 Mini LED元年，GGII統(tǒng)計，年內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)鏈超過8成的投資集中于LED顯示尤其是 Mini/Micro LED領(lǐng)域，Mini LED產(chǎn)能投資推升了MOCVD需求。

而中微公司，正是MOCVD設(shè)備重要提供商，根據(jù)IHS Markit統(tǒng)計，2018年中微公司的 MOCVD占據(jù)全球氮化鎵基LED用MOCVD新增市場的41%；尤其在2018年下半年，中微公司的 MOCVD更是占據(jù)了全球新增氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場的60%以上。

中微公司于2021年6月發(fā)布了用于高性能Mini LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備PrismoUniMax，半年內(nèi)即已收到來自國內(nèi)多家領(lǐng)先客戶的批量訂單合計超過100腔，并且不斷收到更多的訂單。

3月29日，中微公司又于官方微信號宣布，全資子公司南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司收到兆馳科技52腔MOCVD設(shè)備采購訂單。

作為技術(shù)密集型行業(yè)，中微公司MOCVD業(yè)務(wù)的發(fā)展離不開人才。中微公司官網(wǎng)顯示，其領(lǐng)導(dǎo)團隊中與MOCVD業(yè)務(wù)相關(guān)的主要有副總裁、南昌中微兼MOCVD中國區(qū)總經(jīng)理季華；副總裁，MOCVD產(chǎn)品部總經(jīng)理郭世平。

公司官網(wǎng)對季華的描述是“領(lǐng)導(dǎo)中國區(qū)團隊積極推進MOCVD設(shè)備銷售服務(wù)，在三年內(nèi)實現(xiàn)爆發(fā)式的銷售業(yè)務(wù)成長，負(fù)責(zé)南昌中微公司的建立和運營。”

郭世平則主要從事MOCVD設(shè)備的開發(fā)和管理工作，具有多年從事化合物半導(dǎo)體材料外延工藝開發(fā)、設(shè)備研發(fā)及營運的經(jīng)驗。2006年至2012年，郭世平在美國IQE-RF公司歷任資深研究員，氮化鎵部門營運和研發(fā)總監(jiān)，主要從事氮化鎵晶體管和發(fā)光材料MOCVD外延生長的研發(fā)和營運工作。

而氮化鎵，正是第三代半導(dǎo)體的一種。并且，第三代半導(dǎo)體也是MOCVD設(shè)備的一大應(yīng)用方向。中微公司表示：“針對化合物半導(dǎo)體功率器件市場應(yīng)用的快速發(fā)展，公司正在開發(fā)硅基氮化鎵及碳化硅功率器件專用的外延設(shè)備，不斷豐富公司設(shè)備的產(chǎn)品線，強化公司在第三代半導(dǎo)體設(shè)備市場的競爭優(yōu)勢。”

不過，中微公司也提示風(fēng)險道，近年來，晶圓廠和 LED 外延片制造商審慎地進行擴產(chǎn)。不能排除下游個別晶圓廠和 LED 外延片制造商的后續(xù)投資不及預(yù)期，對相關(guān)設(shè)備的采購需求減弱，這將影響公司的訂單量，進而對公司的業(yè)績產(chǎn)生不利影響。

封面圖片來源：攝圖網(wǎng)-401116818